台積碎晶圓卡機台　百名日本工程師南科善後

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2月6日小年夜大地震重創台南科學園區，半導體與面板廠受創程度超過預期。據悉，雖然廠商十萬火急召回設備工程師緊急搶修，但因機台自動停機，玻璃或晶圓不僅碎裂滿地，遭震碎而遺留在機台的碎片，使接下來清理工作更加麻煩，科技圈認為，復工時間恐會拉長，並影響後續面板與半導體供應問題。

台積電（2330）南科員工爆料，公司在南科共有6、14A、14B廠，受損狀況較原先預估嚴重，更緊急從日本請來100名設備工程師檢修機台及自動化設備，損失恐比群創（3481）還大。

■台積員工爆連上10天班

爆料員工指出，以往地震震碎的晶圓是用撿的，嚴重一點再用掃的，但這次須用鏟子一鏟一鏟清理。

對此，台積電企業訊息處長孫又文說，地震過後一定會請來各種工程師檢修機台，目前6廠及14B廠已全面恢復運作，員工也正常上班，唯獨14A廠恢復狀況較差，僅部分復工，她預料14A廠再過2天也能恢復正常，但財物損失需待正常上班後才能公布，仍有信心達成第1季營運預估。

而受地震影響，台積電緊急調回人力檢修或清掃廠房，另有南科員工爆料說，本來期待放假過年，沒想到碰上地震，又被叫回去上班，至今已連續上班10幾天，且每日超時工作，擔心可能會「過勞死」。

台積電回應，有先向勞動部等主管機關報備，對加班員工也會比照《勞基法》規定，給予特別加給，現在加班僅限於14A廠，其餘已恢復正常輪班。

■群創良率恐被影響

另外群創部分，除機台須重新校正定位，清除工作才是棘手問題。內部員工透露，面臨如此巨大的搖晃，玻璃、成品與半成品都可能毀損。

在地震時若正在跑片，一旦停電或停機，正在真空腔體內進行濺鍍的玻璃片，就會在腔體內掉落而破裂，如沒有清理乾淨，將影響未來產出與良率，且目前面板生產主力都是5代以上，5代、6代甚至於7.5與8.5的機器設備都相當巨大，即使由人爬進機台內，也很難清除這些碎片。

法人指出，現為面板市場淡季，群創不含5代以下產能，產能利用率約80~85%，若5~6代生產線受創，復工需半個月以上，整體產能利用率可能會掉到75%，2月與3月營收都會受衝擊。